本儀器在測(cè)量工件表面粗糙度時(shí),先將傳感器搭放在工件被測(cè)表面上,然后啟動(dòng)儀器,由儀器內(nèi)部的精密驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)傳感器沿被測(cè)表面做等速直線滑行,傳感器通過(guò)內(nèi)置的銳利觸針感受被測(cè)表面的粗糙度,此時(shí)工件被測(cè)表面的粗糙度會(huì)引起觸針產(chǎn)生位移,該位移使傳感器電感線圈的電感量發(fā)生變化,從而在相敏檢波器的輸出端產(chǎn)生與被測(cè)表面粗糙度成比例的模擬信號(hào),該信號(hào)經(jīng)過(guò)放大及電平轉(zhuǎn)換之后進(jìn)入數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),DSP芯片對(duì)采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行